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按工作原理和結(jié)構(gòu)特點分類
（1）機械式容積真空泵
靠機械運動使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的是機核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機械增壓泵外，一般均可單獨使用。
（2）射流式真空泵
沒有機械運動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。
真空泵本身漏氣
(1)密封圈漏氣。解決方案：檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈
(2)氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞或未擰緊。解決方案：更換墊圈并擰緊氣鎮(zhèn)閥
(3)排氣閥片損壞，密封不好。解決方案：更換氣閥片。shimadzu tmp-203高速分子泵保養(yǎng)多少錢
(4)真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。解決方案：修整真空泵腔或更換。
(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。解決方案：拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。
(6)轉(zhuǎn)簧變形或折斷及旋片動作不靈。解決方案：整修或更換彈簧變形，使轉(zhuǎn)子積旋片配合良好
(7) 進氣口的過濾網(wǎng)被堵塞。解決方案：取下過濾網(wǎng)清洗干凈，再裝上去。
(8)因加工不良或磨損造成配合間隙過大。解決方案：檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規(guī)定的精度要求進行修復(fù)或更換。
(9)真空泵運轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱。溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。解決方案：通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關(guān)部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進行修理或更換。
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在復(fù)合分子泵的設(shè)計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。廣州島津分子泵維修廠家
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)
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蒸氣流擴散泵在歷shi上zui早用來獲得高真空的泵,目前仍有著zui廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。它是利用氣體擴散現(xiàn)象來抽氣的。
擴散泵就泵內(nèi)工作液體的種類來分，有用gong和擴散泵油兩種。在采用了液氮冷阱后，gong擴散泵較易獲得潔凈的無油真空,且它的zui大工作壓力較油擴散泵的為高,但因gong蒸汽有毒,故較少采用。就結(jié)構(gòu)材料來分,也有兩種,即玻璃的和金屬的兩種。進口真空泵維修廠家
玻璃擴散泵都是小型泉,制造容易、成本低，但抽速較小且易po裂,一般僅用于實驗室;金屬擴散泵的強度高，適于制成大型泵。一般說來不論用何種工作液體、何種結(jié)構(gòu)材料,泵的工作原理和基木結(jié)構(gòu)是相同的,只在細節(jié)上有些差異。
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